業務内容
FEATURES
当社の製品の特徴
シリコンウェーハ業界における汚染回収技術の問題とその解決方法という流れで、
当社製品の特長をご紹介いたします。
従来の問題
エッジ汚染回収技術
- 基本は水平になっているウェーハを垂直に立てる。
- 回転させながらエッジだけを液に侵漬するので、難しい。
特開平11-204604
C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.
問題点
- ウェーハを垂直回転させるための専用装置が必要。
- 液貯めの液量をある程度より少なくすることができない。
当社にて、従来の回収装置（水平回転型）に適用可能で、
かつ必要液量が少ない回収治具を開発致しました。
当社製品の特長による解決方法
表面張力を利用したエッジ回収治具
- 側面スリットからわずかにはみ出した液にエッジ部を接触。
- 表面張力により液が丸まるため、液は流れ出ることがありません。
エッジ回収の実際
- エッジ部だけを液に接触させながらウェーハを回転。
- 位置を調整することで表裏面に液が回り込まないように設定可能です。（特許取得）
この技術が可能な製品
AFTER SERVICE
アフターフォロー
NAS技研では、当社の製品をご購入頂きましたお客様のアフターフォローに力を入れております。
疑問点・ご不明点等ございましたら、お気軽にお問合わせください。
メンテナンスについて
当社製品のメンテナンスは、日本全国に対応しております。回収装置の精度を保つ為に、半自動回収装置(SCシリーズ)は、年1回の定期メンテナンスを推奨しております。
全自動回収装置(NACシリーズ)は、定期メンテナンス契約に基づいて年3回のメンテナンスを行います。
メンテナンスも期限は設けておりませんので、安心して当社製品をお使い頂ける万全のフォロー体制です。
修理対応は48時間以内
当社製品に関する修理の御依頼には、原則的に48時間以内に対応致します（※ご連絡させて頂きます）。
費用等の見積りも含めて、ご対応させて頂きますので、ぜひご相談ください。
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お問い合わせ
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