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简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
详细追加了SC-2000 / SC-3000无法实现的亲水晶圆污染物采样功能。可以对硅材质以外的晶圆、由于蚀刻等导致表面粗糙的晶圆进行采样操作。当然，也可以进行传统的憎水采样操作。
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微量金属污染物全自动采样设备（NAC系列）
微量金属污染物全自动采样设备（NAC系列）
详细对于晶圆盒中的硅晶圆，全自动地进行气相分解→污染物采样→采样样品的稀释作业，对多枚晶圆进行采样、分析操作时发挥威力。
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基体蚀刻设备
基体蚀刻设备 BEM-310
详细使用臭氧和HF酸对硅晶圆进行基体蚀刻。利用气体进行蚀刻，可以较好地保证蚀刻的平坦度，而且，几乎没有硅残渣留下。
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气相分解用 VPDBOX
气相分解用 VPDBOX
详细利用氟酸液的自然气化，将硅晶圆表面的氧化膜、氮化膜实施气相分解，使晶圆表面成为憎水状态的设备。
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无尘通风柜（NCD系列）
无尘通风柜（NCD系列）
详细前窗门采用双层结构。关上窗门时，即使无尘通风柜内操作空间处于负压状态，双层结构可以起到隔绝柜外污染空气的进入。本设备最适宜和半自动采样设备SC系列配套使用。
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其它产品
其它产品（镊子）
详细镊子产品形状特殊，选用PTFE材质制作，用于夹持半自动采样设备上使用的支架具、采样瓶。
