表面汚染回収装置を活用した様々なニーズの提供ならNAS技研にお任せ下さい。

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  簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）

  簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）

  SC-2000／SC-3000では不可能だった、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる機能を追加しました。シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能です。 従来通りの疎水面サンプリングも可能です。

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  微量金属汚染物質自動回収装置（NACシリーズ）

  微量金属汚染物質自動回収装置（NACシリーズ）

  キャリアケースに入った状態のシリコンウェーハに対して、気相分解→汚染回収→回収したサンプルの稀釈までの作業を全自動で実施します。 多数のウェーハからサンプルを取り、分析する用途に威力を発揮します。

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  バルクエッチング装置

  バルクエッチング装置　BEM-310

  オゾンとHFを使用してシリコンウェーハのバルクエッチングを実施します。
  ガスによるエッチングで平坦度を保ったままのエッチングが可能で、シリコン残渣もほとんど残りません。
  
  

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  気相分解用　VPDBOX

  気相分解用　VPDBOX

  フッ酸液の自然気化を使用して、シリコンウェーハ上の酸化膜・窒化膜を気相分解し、ウェーハ表面を疎水状態にする装置です。

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  クリーンドラフト（NCDシリーズ）

  クリーンドラフト（NCDシリーズ）

  前面扉が二重構造になっており、扉を閉めた時、作業空間を陰圧にして使用していても装置外部の汚れた空気をシャットアウトします。 半自動回収装置SCシリーズの運用に最も適した空間をご提供します。

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  ピンセット

  その他製品（ピンセット）

  半自動回収装置で使用する保持具やバイアルを掴むために設計された、特殊な形状のPTFE製ピンセットです。

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