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気相分解用　VPDBOX

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  気相分解用　VPDBOX

  気相分解用　VPDBOX

  フッ酸液の自然気化を使用して、シリコンウェーハ上の酸化膜・窒化膜を気相分解し、ウェーハ表面を疎水状態にする装置です。

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