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簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）

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  簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）

  簡易型微量金属汚染物質回収装置（SCシリーズ）

  SC-2000／SC-3000では不可能だった、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる機能を追加しました。シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能です。 従来通りの疎水面サンプリングも可能です。

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