●シリコンウェーハに対して、気相分解→汚染回収→回収したサンプルの稀釈までの作業を全自動で実施します。
●疎水性ウェーハ・親水性ウェーハの両方で回収が可能です（ベベル回収は疎水性ウェーハのみ回収が可能）。
●一度に大量のウェーハからサンプルを取って分析する必要がある場合には、非常に威力を発揮する装置です。
●回収した薬液の計量・稀釈機能を持ち、ウェーハ上に薬液が残った状態での作業続行を防止します。
●独自の二重扉構造で、作業空間内の酸雰囲気と作業者側の汚染が交錯するのを防止します。
●サンプリングに使用した保持具を自動洗浄する機能を持ち、作業者の手間を削減します (※表面・側面用保持具の両方に対応)。
「バルクエッチング → ウェーハ汚染回収」を全自動で行う装置もございます（NAC-304）。
さらに近年はコンタミを低減する目的で「バルクエッチング → ウェーハ汚染回収 → ICP-MS接続＆自動で元素分析」までを トータルで実施する装置のニーズが非常に高くなっております（NAC-316）。
| 装置名 | NAC-302 | NAC-304 | NAC-316 | |||||||
| 対応ウェーハサイズ | 125mm, 150mm, 200mm, 300mm |
125mm, 150mm, 200mm, 300mm |
300mm | |||||||
| 操作 | 本体備え付けのパソコン | |||||||||
| バルクエッチング機能 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
| ICP-MS自動接続機能 | ー | ー | 〇 | |||||||
| ICP-MS検量線自動調整機能 | ー | ー | 〇 | |||||||
| ロードポート対応 | ー | ー | 〇 | |||||||
| 基本回収パターン | リング状、固定半径、側面 | |||||||||
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 1850×1350×2000 | 2000×1500×2000 | 1700×2800×2300 | |||||||
| 使用設備 | 酸排水、一般排気、酸排気 | |||||||||
| 使用場所 | クリーンルーム内 | |||||||||
| 必要ユーティリティー | 電源(AC100V 15A)、N2、 純水、クリーンドライエア |
電源(AC100V 15A)、N2、O2、 純水、クリーンドライエア |
||||||||
