●フッ酸液の自然気化を使用して、シリコンウェーハ上の酸化膜・窒化膜を気相分解し、ウェーハ表面を疎水状態にする装置です。
●酸液および酸雰囲気の触れる箇所はPTFEとPVDFを使用しています。
●半自動回収装置SCシリーズと合わせてご使用下さい。
| 装置名 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M | VPDBOX-300-5M | VPDBOX-300-6M | |||||||||
| 最大処理枚数 | 1枚 | 1枚 | 5枚 | 6枚 | |||||||||
| 対応 ウェーハ サイズ |
100mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||||
| 125mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 150mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 200mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 300mm | ― | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 290×290×250 | 390×390×250 | 410×405×410 | 410×405×460 | |||||||||
| 重量 | 6kg | 8kg | 15kg | 18kg | |||||||||
| 使用場所 | クリーンドラフト内 | ||||||||||||
| 外部資源 | N2ガス（酸雰囲気パージ用） | ||||||||||||
